第一四七五章 90nm光刻機

    「鄧院長，我代表京城半導體公司，獎勵研發部500萬元。」

    啪啪……

    8月15日，接到總經理魏建國的電話，京城光刻機研究院研發成功了90nm製程工藝光刻機，孫健非常高興，第二天上午就乘飛機從江城來到京城，在京城光刻機研究院會議室接見了包括院長鄧國輝院士、副院長歐陽明院士、副院長陳偉長院士、光刻機自動化研究所所長夏季常院士在內的200多名90nm製程工藝光刻機研發部的研發人員。

    京城光刻機研究院在不到一年的時間內研發成功90nm光刻機，厚積薄發，孫健不會感到驚訝，經過近9年的快速發展，加上捨得投資，京城光刻機研究院下屬10家研究所（部）人才濟濟，國內近八成的頂尖光刻機人才都在這裏。

    京城半導體公司擁有4名光刻機專業頂尖的院士，教授、研究員、教授級工程師近百人，這在國內科研院所和公司中都是絕無僅有的事情。

    如今沒有專業博士文憑，很難進入京城光刻機研究院。

    1998年9月，GCA和Nikon先後研發成功90nm製程工藝的光刻機；2000年8月，Intel、IBM、IT、AMD、HP各自投資25億美元（包括基建費用）建設的一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線先後量產。

    2000年，ASML、Canon、SVG先後研制成功90nm製程工藝的光刻機。

    1999年，PGCA半導體公司申請從GCA購買一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線，但遭到美國商務部否決，重新申請購買一條12英寸晶圓、180製程工藝的半導體生產線，3個月後才批准，2000年12月7日，這條生產線才量產。

    得隴望蜀！

    2000年12月底，孫健慫恿中村三郎代表曙光東芝晶圓公司，從東芝公司引進一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線，但遭到日本半導體協會拒絕；曙光東芝晶圓公司花費15億美元（包括從BSEC採購40臺250nm製程工藝的光刻機）從日本引進了一條12英寸晶圓、180nm製程工藝的半導體生產線，如今還處於設備安裝階段，9月下旬試生產。

    國內有了二條12英寸晶圓、180nm製程工藝的半導體生產線，臺積電、三星都只有一條。

    京城半導體公司（BSEC）研制成功的90nm製程工藝的光刻機雖然比GCA和Nikon晚了近三年的時間，比ASML、Canon、SVG晚了一年多的時間，但已經是一項了不起的成就。美西方國家禁止出口最先進的技術和生產線給國內，孫健多次遭遇「有米無鍋」的局面。

    1993年3月，孫健奉命接手工業部四十五所、中K院微電子研究中心和中K院滬海光學精密機械研究所及其配套工廠，組建BSEC，BSEC生產的光刻機，製程工藝同GCA和Nikon相比，相差四代，落後20年都不止！

    BSEC同中K院、華清、燕大、哈工大、國科大、華中大學、滬海硅片製造廠、冰城光源材料廠、金城激光器製造廠、金城金屬氣體廠等97家科研院所和公司長期保持合作關係，聯合開發單晶硅、光源材料、激光器材料和光刻氣體等技術攻關項目。

    半導體產業發展日新月異，要不是全球光刻機產業被193nm波長的世界性光學難題卡住了，GCA和Nikon早就研製65nm製程工藝，甚至40nm製程工藝的光刻機了。

    一步先步步先，光刻機的製程工藝不是花錢就能迅速解決的技術難題。

    孫健將BSEC趕上GCA和Nikon的希望主要寄託在全球光刻機產業被

    卡在193nm波長的世界性光學難題上。

    BSEC藉助於出售磁懸浮式雙工作臺系統技術收取的專利費，於1995年實現盈利後，拿到了特批的上市額度，在鵬交所公開發行了15億股（包括1000萬職工股），發行價6元，融資873億元（扣除發行費用），其中8億元用於研發8英寸晶圓和500nm製程工藝光刻機，073億元用於補充公司流動資金。

    總股本增加到95億股，每股淨資產345元。

    1996年6月24日，BSEC在鵬城證券交易所成功上市（其中1000萬職工股於6個月後流通），首日以1758元收盤，上漲1158元，漲幅193。

    光刻機被稱爲工業皇冠上的明珠，是一個國家科技實力的綜合體現。

    1997年最高漲到4578元，BSEC成爲鵬滬股市第一科技股。

    BSEC1996每股分紅12元；1997年10配3股，1998年10送13元，1999年10送18元，2000年10送2股，如今總股本增加到1521億股，總資產9652億元，淨資產5703億元，每股淨資產375元。

    週三，BSEC收盤2754元，總市值419億元。

    公司有重大事項公佈，已經申請臨時停牌。

    BSEC屬於上市公司，孫健也不敢隱瞞，研制成功90nm製程工藝的光刻機知道的人太多，公司管理層和普通員工都是股民，都在BSEC的職工股上賺了一大筆錢。

    連李昌傑都不知道，BSEC研究院院長鄧國輝院士和光刻機光學研究所所長錢富強研究員率領光源研究所的140多名研發人員，經過近3年的潛心研究，在孫健的「點撥」下，終於在1999年7月研制成功浸沒式光刻系統技術，ArF激光器發射的193nm光源通過純淨水的折射，得到了波長134nm的光源，解決了業界遇到的193nm波長的世界級難題，因所用的光學系統是委託CarlZeissAG生產的，沒有完全自主的知識產權，祕而不宣，等BSEC光刻機光源研究所研製的光學系統達到要求後，再申請公司發明專利。

    只能委屈錢富強和140多名研發人員（簽了保密條例）。

    鄧國輝和錢富強從1999年8月開始立項，BSEC投資1億元，帶領光刻機光源研究所，靜下心來開始研發EUV。

    作爲上市公司，BSEC發布公告，投資1億元繼續研究193nm波長的世界級難題。

    即使能得到蔡司公司最先進的透鏡和反射鏡系統，有資金支持，孫健也懷疑BSEC研究院能否在20年內研制成功EUV光刻機？

    上半年，在B股對外開放的消息刺激下，上證指數高歌猛進，6月12日創了2245點的歷史新高。6月13日，在減持國有股的利空消息下，連續大跌，跌幅和跌速嚇人。

    從6月13日的2245跌到週三收盤的1647點，二個月的時間跌幅高達2664，理論上已經進入熊市，散戶們瞠目結舌，投機客慌忙逃竄。