第83章 現在就拆給你看！

    光刻作爲芯片製造流程中最關鍵的環節，其基本原理其實很簡單，就是用光，來完成對硅片的雕刻。

    光刻中的硅片，就像是掛在牆上的投影布，而光刻機則是投影儀，

    如果投影布表面不平整，出現起伏，那投影的畫面自然就會扭曲變形。

    在光刻中，硅片的表面瑕疵，則會導致投影上去的電路設計路變形，從而導致良率降低，甚至整張晶圓報廢。

    所以想要得到一張能用來製造芯片的硅片，則需要把切割後的單晶硅片進行拋光打磨，直至它的表面平整度低於1.5nm RMS。

    這相當於在電影院掛上一塊大幕布，它的表面起伏不能超過一根頭發絲大小，無限接近於完美的鏡面。

    因此，這對硅片製造拋光工藝要求，自然就顯得極其重要了。

    從圓珠筆頭上的小鋼珠，到芯片的原材料硅片，再到光刻機上的鏡片，最後甚至是科幻三體中表面完美無暇的水滴……

    其實考驗一個文明工業水平高度的，就是看你能把一個物品造得有多精細。

    而造精細的東西，自然就需要空氣乾淨的潔淨室，不然空氣中全是灰塵細菌，再怎麼打磨造不出合格的硅片。

    “其實這些年我們通過仿製島國的設備，已經可以達到2.6nm RMS的平整度了，但無論我們再怎麼檢查，哪怕每一個零件都已經達標了，但依然沒辦法繼續突破……”

    嚴輝穿一邊穿着防護服，一邊向康馳介紹着他們的研究進度。

    “拋到2.6nm RMS用的是什麼拋光液？”

    “以SiO2爲基礎，加入0-70wt%的雙氧水，最後用KOH調節pH到8.5。”

    康馳點了點頭：“先看看再說吧。”

    兩人穿好防護服後，很快就來到了拋光實驗室，然後由嚴輝主持，向康馳演示了一次拋光實驗。

    在傳統的硅片拋光打磨中，通常會先用機械拋光機，對硅片進行初步打磨，再清洗，最後進行化學機械拋光，也稱爲精磨。

    精磨是一種利用拋光液的化學腐蝕功能，配合機械轉盤的機械打磨，兩者互相配合來達到硅片的工藝標準。

    實驗的結果是3.1nm RMS，比他們能做的極限還差不少。

    康馳沉思了片刻，然後說道：“換成30wt%Al2O3基液，加65wt%高錳酸鉀作爲化學拋光液，用5wt%HNO3調成8.0的PH值再試一遍。”

    嚴輝點了點頭，帶着研究員們調配好拋光液，然後重新進行了一次實驗。

    “平整度5.9nm RMS。”

    看到這個結果，原本還有點小期待的嚴輝，不由露出一抹失望的神色。

    但康馳卻依然不爲所動，又報出了一組拋光液配比，讓他們重新進行第三次實驗。

    “平整度5.9nm RMS。”

    5.9？

    還是5.9？！

    是巧合嗎？

    雖然5.9顯然是遠遠不達標的，但嚴輝卻似乎意識到了什麼，有些驚訝地轉頭看向康馳。

    “你……計算好的？”

    “算是吧。”

    康馳點了點頭。

    這下嚴輝徹底呆住了，

    要知道，化學機械拋光的技術難點，除了拋光設備的硬件要達標之外，還要根據設備性能、硅片參數，來調配化學拋光液，以達到化學拋光和機械拋光的完美配合。

    要想調試得好，首先就需要對設備瞭如指掌，其次這是豐富的拋光液調配經驗。

    但康馳僅僅只是通過一次實驗演示，就能看似輕鬆地報出兩組不同成分的拋光液，並在後續的實驗中，達到同一數值的平整度……

    這多少有點匪夷所思了吧？

    哪怕是已經參與過無數次測試的嚴輝，在沒有經過計算機模擬的情況下，也絕對做不到如此精準的控制，

    估計誤差至少得有個0.3nm RMS。

    他有些難以置信地問道：“你到底是怎麼做到的？”

    “嗯，我也說不上來……可能是某種直覺吧，我這人對機械的東西，敏感度還挺高的。”

    康馳思索了片刻，又接着說道，

    “我估計伱這臺拋光機，能穩定發揮的正常水平，應該就是3.0nm RMS左右，2.6nm RMS只是你們因爲偶然因素才意外達到的，肯定不會超過三次。”

    嚴輝再次愣了愣，顯然是被康馳猜中了。

    “確實，只有一次……”

    康馳本來還想說點什麼，結果肚子都已經餓得咕咕叫了，

    看了看時間，發現三輪實驗過後，竟然已經不知不覺都到了晚上八點。

    “不好意思，一個沒注意都這這麼晚了……大家趕緊收拾收拾，先去吃飯吧，今天辛苦你們了。”

    “嗯。”嚴輝點了點頭道，“那大家吃完飯，九點再回來繼續。”

    “回來繼續？”康馳不由露出了奇怪的表情，“繼續幹嘛？”

    “做實驗啊。”

    “沒用的，這根本不是拋光液的比例問題，你們這是在做無用功。”康馳直接搖頭道，“吃完飯早點回家洗洗睡吧，明天我們再過來把拋光機拆了，如果我沒猜錯的話，是你們的設備安裝有問題。”

    聽到康馳竟然已經猜到問題所在，嚴輝頓時有些激動：“不用等明天，我們現在就可以把它擡出去拆給你看！”

    康馳白了嚴輝一眼：“我餓了，也累了。”

    “……”

    嚴輝不由尬住了。

    “咳咳……抱歉，我忘了你今天纔剛從鋼城趕過來。”

    “就是沒從鋼城趕過來，這個點也該吃飯休息了，你們也是，以後能不加班就別加班，雖然時間緊迫，但我們工作也要講究效率，而不是一味地堆時間，你都把人整暈了，還搞什麼研究？”

    “……”

    等收拾完實驗室，脫掉防護服來到公司食堂的時候，已經是晚上九點了，

    因爲硅片生產部門是24小時不停工，加上研發製造中心的科研狗經常通宵加班，所以公司的食堂也是24小時供應的那種，隨時來都有吃。

    食堂打飯的阿姨看到嚴輝後，態度相當熱情，往他飯盤裏打的菜都更多。

    康馳忍不住，多看了那阿姨一眼，

    嗯……

    雖然年紀稍微大了點，但勉強也算得上風韻猶存。

    “咳咳，你別多想。”嚴輝看到康馳的複雜表情，連忙輕咳道，“她要是知道你就是大老闆，估計打得更多……”

    “我什麼都沒說，你緊張什麼？”

    嚴輝：“……”

    ……

    吃完飯後，康馳便通過電話，聯繫上了公司的行政主管，然後在他的帶領下，和陳海一起來到了公司幫他提前準備好的房子。

    這是一棟雙層別墅，五室兩廳，相當別緻。

    就是一個人住，顯得空曠冷清了點。

    嗯，

    陳海把康馳送到家後，就不知道跑哪去了，估計在隔壁棟？

    康馳也沒有邀請他和自己一起住，

    不然兩個大男人同一屋檐，

    成何體統！？

    (本章完)